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一、系統(tǒng)概述
德高潔自動化高壓水多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)主要用于西門子法多晶硅還原爐鐘罩(爐筒)內(nèi)壁的全自動清洗和烘干,該系統(tǒng)完全由德高潔獨(dú)立自主研發(fā)而成,并注冊了實(shí)用新型專利(專利號:ZL 2011 2 0266650.2);其工作原理是以水力自驅(qū)動三維自動旋轉(zhuǎn)噴頭,形成360°的網(wǎng)狀噴射表面,完成鐘罩內(nèi)部表面的水力掃射,用專用清洗劑等為主要清洗液,用純水(去離子水或叫脫鹽水)漂洗,用高純水沖洗,完成清洗過程。其后用經(jīng)過三級凈化(10萬級)的純凈空氣,梯級加熱,保證烘干完的鐘罩不再結(jié)露,可直接進(jìn)入生產(chǎn)作業(yè)。
二、系統(tǒng)特點(diǎn)
1、技術(shù)能力強(qiáng),設(shè)計(jì)合理,根據(jù)客戶需求,總結(jié)借鑒國內(nèi)外還原爐鐘罩及其它罐類清洗烘干經(jīng)驗(yàn),充分發(fā)揮高壓水清洗和吸除塵的技術(shù)優(yōu)勢,設(shè)計(jì)出本套系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)了還原爐鐘罩的全自動清洗和烘干操作?筛鶕(jù)使用方不同還原爐鐘罩、車間廠房的情況,能源條件不同,提供個性化設(shè)計(jì)。
2、設(shè)備性能可靠,核心部件、元件和附件原裝進(jìn)口。
3、自動化程度高:PLC+觸摸屏柔性自動控制系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)對還原爐鐘罩的自動清洗和烘干同時具有半自動或手動功能。
4、適應(yīng)范圍廣:可以在一套系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)多種型號還原爐鐘罩的清洗烘干。
5、節(jié)能、環(huán)保、安全:提供了預(yù)熱(余熱蒸汽、余熱水或油)加熱清洗水及干燥空氣的方案。全密閉式清洗烘干系統(tǒng),基本消除了對現(xiàn)場及操作人員的污染。
6、德高潔集團(tuán)在北京、上海、深圳、成都、西安、武漢均設(shè)有分公司及辦事處。服務(wù)體系網(wǎng)絡(luò)健全,零配件充足。
三、清洗工藝
還原爐鐘罩到位→預(yù)清洗→清洗劑(堿液)清洗→漂洗→高純水沖洗→凈化熱空氣干燥→常溫干燥→鐘罩吊走。
注:清洗劑的選擇對清洗效果和作業(yè)安全有直接影響,這方面我公司積累了豐富的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)解決閃爆等問題。
四、設(shè)備組成
1、高壓熱水清洗動力裝置1套
由高壓熱水清洗機(jī)及附件(1套),高壓水自驅(qū)動三維洗罐器(1套),三維洗罐器升降裝置(氣動,1套)組成。
2、熱風(fēng)凈化烘干機(jī)組1套
進(jìn)風(fēng)凈化等級:10萬級。
3、清洗烘干工作臺及管道1套
4、電氣控制系統(tǒng)1套
采用PLC+觸摸屏全自動控制,全套德高潔版控制軟件。
注:水和風(fēng)的加熱方式:電加熱,蒸汽、余熱水或油的熱交換器換熱。
五、施工條件
1、電源:380V/50Hz,30KW,電纜引至控制柜。
2、蒸汽:壓力0.175-0.9Mpa(G),到指定接口點(diǎn)。
3、壓縮空氣:不小于流量3N m³/h,壓力0.6~0.75Mpa(G)(氣動閥、氣缸用氣),指定接口點(diǎn)。
4、脫鹽水:可提供條件,不小于100 L/min,到指定接口點(diǎn)。
5、純水:不小于 100 L/min,到指定接點(diǎn)。
6、清洗劑:NaOH清洗液等,不小于2立方米。
7、占地面積:36~80平米(寬約6~7米,長6~12米)
8、三廢處理:洗滌后的含酸或堿液廢水、廢渣,排放到需方指定處,由需方自行處理,配排污水(池、槽)溝;清洗和烘干產(chǎn)生的廢氣做室外排空排放。
德高潔自動化高壓水多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)主要用于西門子法多晶硅還原爐鐘罩(爐筒)內(nèi)壁的全自動清洗和烘干,該系統(tǒng)完全由德高潔獨(dú)立自主研發(fā)而成,并注冊了實(shí)用新型專利(專利號:ZL 2011 2 0266650.2);其工作原理是以水力自驅(qū)動三維自動旋轉(zhuǎn)噴頭,形成360°的網(wǎng)狀噴射表面,完成鐘罩內(nèi)部表面的水力掃射,用專用清洗劑等為主要清洗液,用純水(去離子水或叫脫鹽水)漂洗,用高純水沖洗,完成清洗過程。其后用經(jīng)過三級凈化(10萬級)的純凈空氣,梯級加熱,保證烘干完的鐘罩不再結(jié)露,可直接進(jìn)入生產(chǎn)作業(yè)。
二、系統(tǒng)特點(diǎn)
1、技術(shù)能力強(qiáng),設(shè)計(jì)合理,根據(jù)客戶需求,總結(jié)借鑒國內(nèi)外還原爐鐘罩及其它罐類清洗烘干經(jīng)驗(yàn),充分發(fā)揮高壓水清洗和吸除塵的技術(shù)優(yōu)勢,設(shè)計(jì)出本套系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)了還原爐鐘罩的全自動清洗和烘干操作?筛鶕(jù)使用方不同還原爐鐘罩、車間廠房的情況,能源條件不同,提供個性化設(shè)計(jì)。
2、設(shè)備性能可靠,核心部件、元件和附件原裝進(jìn)口。
3、自動化程度高:PLC+觸摸屏柔性自動控制系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)對還原爐鐘罩的自動清洗和烘干同時具有半自動或手動功能。
4、適應(yīng)范圍廣:可以在一套系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)多種型號還原爐鐘罩的清洗烘干。
5、節(jié)能、環(huán)保、安全:提供了預(yù)熱(余熱蒸汽、余熱水或油)加熱清洗水及干燥空氣的方案。全密閉式清洗烘干系統(tǒng),基本消除了對現(xiàn)場及操作人員的污染。
6、德高潔集團(tuán)在北京、上海、深圳、成都、西安、武漢均設(shè)有分公司及辦事處。服務(wù)體系網(wǎng)絡(luò)健全,零配件充足。
三、清洗工藝
還原爐鐘罩到位→預(yù)清洗→清洗劑(堿液)清洗→漂洗→高純水沖洗→凈化熱空氣干燥→常溫干燥→鐘罩吊走。
注:清洗劑的選擇對清洗效果和作業(yè)安全有直接影響,這方面我公司積累了豐富的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)解決閃爆等問題。
四、設(shè)備組成
1、高壓熱水清洗動力裝置1套
由高壓熱水清洗機(jī)及附件(1套),高壓水自驅(qū)動三維洗罐器(1套),三維洗罐器升降裝置(氣動,1套)組成。
2、熱風(fēng)凈化烘干機(jī)組1套
進(jìn)風(fēng)凈化等級:10萬級。
3、清洗烘干工作臺及管道1套
4、電氣控制系統(tǒng)1套
采用PLC+觸摸屏全自動控制,全套德高潔版控制軟件。
注:水和風(fēng)的加熱方式:電加熱,蒸汽、余熱水或油的熱交換器換熱。
五、施工條件
1、電源:380V/50Hz,30KW,電纜引至控制柜。
2、蒸汽:壓力0.175-0.9Mpa(G),到指定接口點(diǎn)。
3、壓縮空氣:不小于流量3N m³/h,壓力0.6~0.75Mpa(G)(氣動閥、氣缸用氣),指定接口點(diǎn)。
4、脫鹽水:可提供條件,不小于100 L/min,到指定接口點(diǎn)。
5、純水:不小于 100 L/min,到指定接點(diǎn)。
6、清洗劑:NaOH清洗液等,不小于2立方米。
7、占地面積:36~80平米(寬約6~7米,長6~12米)
8、三廢處理:洗滌后的含酸或堿液廢水、廢渣,排放到需方指定處,由需方自行處理,配排污水(池、槽)溝;清洗和烘干產(chǎn)生的廢氣做室外排空排放。